hh.sePublikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Optimization of Deep-UV Lithography Process
Högskolan i Halmstad, Akademin för informationsteknologi.
(Engelska)Självständigt arbete på avancerad nivå (magisterexamen), 10 poäng / 15 hpStudentuppsats (Examensarbete)
Abstract [en]

This master’s project report deals with the process development for patterning thesub-micron features using Deep-UV photolithography. Patterning of the sub-micronstructures in the resists UV26 and ZEP520A-7 has been demonstrated successfully. Using theKarl Süss-MJB4 DUV mask aligner, trenches of width down to 535 nm have been obtained.Good results have been obtained in these experiments considering the development time andthe exposure time, which are found to be shorter compared to previously published results.This provides a faster process and higher throughput. Experimental steps along with thefurther improvement areas are discussed.Equipment used include a Karl Süss-MJB4 DUV mask aligner, an optical microscope anda Scanning Electron Microscope (SEM).

Nyckelord [en]
Scanning Electron Microscope (SEM), thesub-micron features
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:hh:diva-28373OAI: oai:DiVA.org:hh-28373DiVA, id: diva2:815912
Ämne / kurs
Elektroteknik
Handledare
Examinatorer
Tillgänglig från: 2015-06-02 Skapad: 2015-06-02 Senast uppdaterad: 2015-06-02Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

fulltext(3799 kB)2041 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 3799 kBChecksumma SHA-512
6dc17c439ee799edf9736cee948f1764091900e171aac077095d3b7ef421a685159d6167ff89e902f2e796560fe358386403d055656014d478056e7090d60ea2
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Av organisationen
Akademin för informationsteknologi

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 2044 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 531 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf